Динамика установления неравновесного СВЧ-разряда на конце цилиндрического электрода в азоте при пониженных давлениях

Экспериментально исследован процесс зажигания СВЧ-разряда на конце цилиндрического электрода в азоте при давлении 1 Тор и падающей мощности 60–140 Вт. Использовались видеокамеры К008 и К011, осциллограммы излучения разряда. Показано, что полное время установления разряда в радиальном направлении порядка 10–4 с, а в аксиальном направлении порядка 10–2 с. Для анализа полученных результатов использовалось нестационарное одномерное моделирование разряда в азоте в квазистатическом приближении. Кинетическая схема включала 50 процессов с участием электронов, ионов, возбужденных частиц и атомов. Изменения во времени концентрации состояний N2( ) и N2( ), ответственных за регистрируемое излучение разряда, сопоставлено с экспериментальными данными.