Компактная установка быстрых термических процессов с холодными стенками AS-Premium (ANNEALSYS)
14 сентября 2018
564
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Франция |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Компактная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин до 8х8 дюймов (200 х 200 мм.). Применение: - Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing),
- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
- Диффузия, селинизация
- Отжиг SiC контактов, карбонизация
- Отжиг соединений полупроводников
- Нитритизация, силицидирование
- Послеимплантационный отжиг
- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
- Диффузия, селинизация
- Отжиг SiC контактов, карбонизация
- Отжиг соединений полупроводников
- Нитритизация, силицидирование
- Послеимплантационный отжиг