Сканирующий лазерный анализатор частиц "Рефлекс 405" (РЕФЛЕКС ЛАЙТ)

Прибор позволяет определить количество, положение и размеры частиц, царапин, матовости поверхности (HAZE) и иных светорассеивающих дефектов на поверхности полупроводниковых пластин. Обеспечивает: Минимальный диаметр контролируемых частиц – 117 нм; Диаметр контролируемых пластин – 50, 76, 100, 150, 200 мм; Время контроля пластины диаметром 150 мм – 170 сек; Длина волны лазера λ = 405 нм; Толщина пластин – от 450 до 750 мкм; Воспроизводимость измерения числа частиц - 3 %. Получаемая информация: карта частиц и дефектов поверхности, с цветовой кодировкой; гистограмма частиц и дефектов поверхности; средняя величина интенсивности рассеянного света на пластине; карта интенсивности рассеянного света (HAZE), с цветовой кодировкой; гистограмма интенсивности рассеянного света. Питание 220 В (200 - 240 В), 50 - 60 Гц, 100 Вт макс. Вакуум - 70 кПа, поток - 2м3/ч. Гарантийные обязательства - 1 год. Загрузка и выгрузка пластин – в ручном режиме.