Система мониторинга процессов в вакууме PPR (Stanford Research Systems)

Система PPR создана для встроенного мониторинга и диагностики процессов в вакууме. К анализатору остаточных газов (RGA) ведут 2 канала: один канал высокой проводимости предназначен для базового мониторинга параметров вакуума, а второй канал (канал понижающий давление) для мониторинга процессов при рабочем (текущем) давлении. Канал понижающий давление содержит микроотверстие, предназначенное для работы при одном из следующих давлений: 0,01 ; 0,1; 1 или 10 торр. С его помощью текущее давление понижается до рабочего для RGA (около 10-6торр). Этот перепад давления поддерживается системой откачки, которая состоит из гибридного турбомолекулярного и диафрагменного насосов. Оба насоса безмасляные и не вносят загрязнений в рабочие процессы.

Входное давление 0,01; 0,1; 1 и 10 торр
Расход газа 3х10-5 торр л/с
Доступны системы 100, 200 и 300 а.е.м.
Легко заменяемый электронный умножитель и катоды
Динамический диапазон системы 106
ПО RGA для Windows