Универсальная сверхвысоковакуумная РФЭС система PULSE XPS (Sigma Surface Science)

Разработана под самые высокие требования современного анализа тонких пленок. Система рассчитана на анализ поверхности методами XPS, UPS, ISS (LEIS), AES и Depth Profiling. Благодаря гибкой модульной конструкции функционал системы может быть легко расширен. Аналитическая камера оснащена турбомолекулярным насосом модели Pfeiffer HiPace300 (номинальная скорость откачки 265 л/с), форвакуумным насосом модели Agilent SH-110 (номинальная скорость откачки 6,6 м3/ч) с электромагнитным клапаном для защиты от отключения электропитания, клапаном для напуска атмосферы, чистого азота, контроллерами и кабелями. В комплект входит 19" стойка электроники, куда монтируются все блоки управления, в том числе ТМН, ФВН, вакуумными клапанами, RF/DC блоки питания для магнетронных источников и столика-манипулятора, кварцевыми микровесами, контроллером расхода газа, пневматическими клапанами, системой блокировок (поток охлаждающей жидкости, уровень вакуума, дверь для загрузки образцов) и кнопка экстренного отключения электропитания.