Оже-электронный спектрометр PHI-680, Physical Electronic
5 сентября 2019
685
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Дагестан, Махачкала |
Страна производства | США |
Год производства | 1998 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Да |
Наличие аккредитации | Да |
Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Исследование элементного состава твердофазных материалов методом электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) основано на анализе энергетического распределения Оже-электронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении электронным пучком. Технические возможности установки определяются уникальным сочетанием высоко-дисперсионного цилиндрического анализатора с системой электростатических линз, ограничивающих область анализа, многоканального детектора Оже-электронов, уникального источника электронов. Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка 1 мкм. Низкое давление остаточных газов в камере анализа обеспечивается работой ионных насосов с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления. Наличие устройства для скола образцов позволяет получать атомарно чистые поверхности в сверхвысоком вакууме.