Установка магнетронного напыления с системой напуска газа и измерителем толщины покрытия VSM – 200
14 сентября 2018
337
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Омская область, Омск |
Страна производства | Канада |
Год производства | 2012 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Вакуумная камера из нержавеющей электрополированной стали, камера без водяного охлаждения. Камера имеет D-форму (в поперечном сечении), плоскую дверь с вакуумным окном 100 мм и заслонкой окна, большое количество фланцев стандарта CF2.75” для подсоединения приборов. Внутренний размер вакуумной камеры - 40х60 см. Расположение магнетронов в данной системе – внизу, напыление идёт на расположенную наверху подложку.