РАЗРАБОТКА СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ДЛЯ ГИБРИДНЫХ СЕНСОРНЫХ СИСТЕМ

В данной работе проведены исследования структурных и электрофизических свойств сегнетоэлектрических пленок цирконат-титаната свинца (ЦТС), которые впоследствии планируется применять в гибридных сенсорных системах. Значения емкостей полученных образцов лежит в диапазоне от 200 – 1100 пФ, диапазон толщин полученных пленок составил 300 – 1000 нм. РФА исследование показало прямую зависимость количественного содержания кристаллического ЦТС в структуре пленки от парциального давления кислорода в камере. По результатам исследования диапазон поляризаций образцов лежит в пределах 0,06 – 2,2 мкКл/см2, а значения рассчитанных пьезомодулей лежали в диапазоне 0,04*10-12 – 13,3*10-12 Кл/Н.