МЕХАНИЗМЫ РЕЛАКСАЦИИ УПРУГОЙ ЭНЕРГИИ В ТОНКОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКЕ НА ПОДЛОЖКЕ

14 сентября 2018
118
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации БЫЧКОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КАРПИНСКИЙ ДМИТРИЙ НИКОЛАЕВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=20213568

Аннотация

Выполнен расчет распределения равновесной плотности упругой энергии в полупроводниковой пленке SiGe на подложке. В расчете учтены неоднородность распределения компонент сплава из-за напряжений несовместности на границе пленка – подложка, проникающих дислокаций и дислокационных петель.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.