МЕХАНИЗМЫ РЕЛАКСАЦИИ УПРУГОЙ ЭНЕРГИИ В ТОНКОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКЕ НА ПОДЛОЖКЕ
14 сентября 2018
418
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | БЫЧКОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КАРПИНСКИЙ ДМИТРИЙ НИКОЛАЕВИЧ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=20213568 |
Аннотация
Выполнен расчет распределения равновесной плотности упругой энергии в полупроводниковой пленке SiGe на подложке. В расчете учтены неоднородность распределения компонент сплава из-за напряжений несовместности на границе пленка – подложка, проникающих дислокаций и дислокационных петель.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.