РАЗРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО СЕНСОРА ДЛЯ МОНИТОРИНГА ГАЗОВЫХ СРЕД НА ОСНОВЕ МЕДЬСОДЕРЖАЩЕГО ПОЛИАКРИЛОНИТРИЛА

Получены пленки Cu-содержащего ПАН в разных температурно-временных режимах термообработки, с модифицирующими добавками в пленкообразующих растворах CuCl 2 и Cu(NO 3) 2 методом пиролиза под действием некогерентного ИК-излучения при неглубоком вакууме по разработанной технологии. Исследовано влияние химического состава и процентного содержания модифицирующей добавки, технологических режимов формирования пленок Cu-содержащего ПАН на их электрофизические и газочувствительные свойства. Определены газочувствительные характеристики полученных образцов пленок. Экспериментально установлены технологические режимы для формирования материала чувствительного слоя полученных сенсоров NO 2, Cl 2, NH 3.