ОПТИМИЗАЦИЯ КОНСТРУКЦИИ КОНТАКТНО-МЕТАЛЛИЗАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ ПЬЕЗОКАНТИЛЕВЕРА ДЛЯ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

14 сентября 2018
314
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ГУСЕВ ЕВГЕНИЙ ЮРЬЕВИЧ, ГАМАЛЕЕВ ВЛАДИСЛАВ АНАТОЛЬЕВИЧ, МИХНО АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ, БЫКОВ АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ, ЖИТЯЕВА ЮЛИЯ ЮРЬЕВНА
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=22540234

Аннотация

Работа относится к области разработки кантилеверов с интегрированной системой регистрации отклонений консоли, на основе пьезоэлектрического эффекта. Ограничение применимости традиционных кантилеверов обусловлено потребностью во внешних аппаратных средствах - технически сложных системах оптической регистрации отклонений. В качестве направления решения проблем миниатюризации и расширения области применения АСМ рассматривается разработка кантилеверов с интегрированной системой отклонений и их регистрации, в том числе на основе пьезоэлектрического эффекта. Известно, что применимость и свойства кантилевера определяются его конструкцией и геометрией. Проведено численное моделирование влияния различных вариантов конструкции контактно-металлизационной системы на отклонение, методом конечных элементов. Варьировалось количество электродов, их размеры и материал. Размеры и материал основания кантилевера и пьезоэлектрического слоя оставались неизменными. Результаты позволили определить конструкцию, обеспечивающую максимальное отклонение при фиксированном напряжении. Разработанная модель позволяет рассчитывать отклонения пьезокантилевера прямоугольной формы с произвольной встречно-штырьевой контактно-металлизационной системой и различными материалами функциональных слоев при подаче допустимых напряжений.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.