ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ КОНТАКТА С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ В ПОЛУПРОВОДНИКЕ
14 сентября 2018
162
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | БОГДАНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАХАРОВ АНАТОЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ПИСАРЕНКО ИВАН ВАДИМОВИЧ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=19528099 |
Аннотация
Проведено моделирование процесса перераспределения атомов электрически активных примесей в электрическом поле области пространственного заряда диода Шоттки. Анализ результатов моделирования указывает на возможность контролируемого перераспределения легирующих примесей на глубинах порядка десятков нанометров, обусловленного диффузией электрически активных атомов в электрическом поле области пространственного заряда диода Шоттки.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.