ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ КОНТАКТА С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ В ПОЛУПРОВОДНИКЕ

14 сентября 2018
162
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации БОГДАНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАХАРОВ АНАТОЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ПИСАРЕНКО ИВАН ВАДИМОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=19528099

Аннотация

Проведено моделирование процесса перераспределения атомов электрически активных примесей в электрическом поле области пространственного заряда диода Шоттки. Анализ результатов моделирования указывает на возможность контролируемого перераспределения легирующих примесей на глубинах порядка десятков нанометров, обусловленного диффузией электрически активных атомов в электрическом поле области пространственного заряда диода Шоттки.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.