АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ДИАГНОСТИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР

14 сентября 2018
124
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации БОГДАНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21348230

Аннотация

Разработана автоматизированная система диагностики полупроводниковых структур, предназначенная для измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестовых структур при различных температурах в широком диапазоне напряжений смещения. Автоматизированная система диагностики полупроводниковых структур позволяет с высокой достоверностью и оперативностью определять параметры глубоких энергетических уровней, профили распределения легирующих примесей, время жизни носителей заряда, энергетический спектр плотности поверхностных состояний и может быть использована при отработке и оптимизации технологических режимов формирования структур твердотельной электроники.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.