МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО СЛОЯ СЕНСОРА ГАЗА ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ ОБРАБОТКОЙ

Исследованы особенности модификации состава и структуры поверхности кремния электроискровой обработкой. Установлено, что электроискровая обработка поверхности чувствительного слоя приводит к увеличению её эффективной площади, увеличению плотности поверхностных состояний, а также к образованию в запрещенной зоне полупроводника глубоких энергетических уровней, обусловленных атомами материала электрода и дислокациями, что в совокупности позволит варьировать чувствительность и селективность сенсоров газов.