МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО СЛОЯ СЕНСОРА ГАЗА ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ ОБРАБОТКОЙ
14 сентября 2018
350
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | БОГДАНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАХАРОВ АНАТОЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ПИСАРЕНКО ИВАН ВАДИМОВИЧ |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=18963626 |
Аннотация
Исследованы особенности модификации состава и структуры поверхности кремния электроискровой обработкой. Установлено, что электроискровая обработка поверхности чувствительного слоя приводит к увеличению её эффективной площади, увеличению плотности поверхностных состояний, а также к образованию в запрещенной зоне полупроводника глубоких энергетических уровней, обусловленных атомами материала электрода и дислокациями, что в совокупности позволит варьировать чувствительность и селективность сенсоров газов.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.