МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО СЛОЯ СЕНСОРА ГАЗА ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ ОБРАБОТКОЙ

14 сентября 2018
147
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации БОГДАНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАХАРОВ АНАТОЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ПИСАРЕНКО ИВАН ВАДИМОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=18963626

Аннотация

Исследованы особенности модификации состава и структуры поверхности кремния электроискровой обработкой. Установлено, что электроискровая обработка поверхности чувствительного слоя приводит к увеличению её эффективной площади, увеличению плотности поверхностных состояний, а также к образованию в запрещенной зоне полупроводника глубоких энергетических уровней, обусловленных атомами материала электрода и дислокациями, что в совокупности позволит варьировать чувствительность и селективность сенсоров газов.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.