Рентгено-дифракто-метрические исследования изменений структуры приповерхностных слоев кремния в процессе лазерной диффузии бора
14 сентября 2018
217
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ПЕТРАКОВ А.П., ГОЛУБЕВ Е.А |
| Ссылка на публикацию в интернете | journals.ioffe.ru/ftt/1998/01/p156-160.pdf |
Аннотация
Методами кривых дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано влияние лазерной диффузии бора на структуру приповерхностных слоев монокристаллов кремния. Путем варьирования параметров задачи численными методами определены профили распределения деформации и статического фактора Дебая--Валлера.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.