Рентгено-дифракто-метрические исследования изменений структуры приповерхностных слоев кремния в процессе лазерной диффузии бора

14 сентября 2018
146
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ПЕТРАКОВ А.П., ГОЛУБЕВ Е.А
Ссылка на публикацию в интернете journals.ioffe.ru/ftt/1998/01/p156-160.pdf

Аннотация

Методами кривых дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано влияние лазерной диффузии бора на структуру приповерхностных слоев монокристаллов кремния. Путем варьирования параметров задачи численными методами определены профили распределения деформации и статического фактора Дебая--Валлера.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.