МЕТОД РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНОГО ИСПАРЕНИЯ ОКИСНОЙ ПЛЕНКИ С ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
14 сентября 2018
439
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ПЕТРАКОВ А.П. |
| Ссылка на публикацию в интернете | journals.ioffe.ru/jtf/2003/04/p129-134.pdf |
Аннотация
Приведен анализ литературы по рентгеновской рефлектометрии. Возможности метода рентгеновской рефлектометрии продемонстрированы в процессе исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.