ОСОБЕННОСТИ РОСТА ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С УБЕГАЮЩИМИ ЭЛЕКТРОНАМИ
14 сентября 2018
283
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | ЗИНЧЕНКО С.П., КОВТУН А.П.,ТОЛМАЧЕВ Г.Н. |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21311053 |
Аннотация
При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.