ОСОБЕННОСТИ РОСТА ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С УБЕГАЮЩИМИ ЭЛЕКТРОНАМИ

14 сентября 2018
125
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ЗИНЧЕНКО С.П., КОВТУН А.П.,ТОЛМАЧЕВ Г.Н.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21311053

Аннотация

При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.