СИНТЕЗ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ РАЗЛИЧНОЙ КОНФИГУРАЦИИ

14 сентября 2018
187
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ЗИНЧЕНКО С.П.ЛЯНГУЗОВ Н.В., ЗАХАРЧЕНКО И.Н., РАТУШНЫЙ В.И., ШИРОКОВ В.Б.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=22019717

Аннотация

Синтезированы и исследованы пленки оксида цинка в тлеющем разряде постоянного тока в атмосфере кислорода при двух геометриях: с полым трубчатым и планарным катодами. При температуре подложки 670 K и давлении кислорода 0.5 Torr пленки, синтезированные в геометрии полого катода, являются столбчатыми, а в геометрии планарного катода --- сплошными. Снижение давления с 0.5 до 0.2 Torr в геометрии полого катода приводит к переходу от столбчатой структуры к сплошной, а в геометрии планарного катода не влияет на морфологию пленок. Синтезированные пленки имеют высокую степень кристаллографической ориентации [001]ZnO""[001]Si с полной азимутальной разориентацией в плоскости сопряжения с подложкой.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.