СИНТЕЗ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ РАЗЛИЧНОЙ КОНФИГУРАЦИИ

Синтезированы и исследованы пленки оксида цинка в тлеющем разряде постоянного тока в атмосфере кислорода при двух геометриях: с полым трубчатым и планарным катодами. При температуре подложки 670 K и давлении кислорода 0.5 Torr пленки, синтезированные в геометрии полого катода, являются столбчатыми, а в геометрии планарного катода --- сплошными. Снижение давления с 0.5 до 0.2 Torr в геометрии полого катода приводит к переходу от столбчатой структуры к сплошной, а в геометрии планарного катода не влияет на морфологию пленок. Синтезированные пленки имеют высокую степень кристаллографической ориентации [001]ZnO""[001]Si с полной азимутальной разориентацией в плоскости сопряжения с подложкой.