ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, НАНЕСЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ ОКСИДНОЙ МИШЕНИ
14 сентября 2018
292
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | ДОСТАНКО А.П., АГЕЕВ О.А., ГОЛОСОВ Д.А., ЗАВАДСКИЙ С.М., ЗАМБУРГ Е.Г., ВАКУЛОВ Д.Е.,ВАКУЛОВ З.Е. |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=22018948 |
Аннотация
Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, получаемых методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс нанесенных пленок не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивления до 35 - 40 Ом · м, уменьшением оптической ширины запрещенной зоны и сдвигом края оптического пропускания с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.