ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, НАНЕСЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ ОКСИДНОЙ МИШЕНИ

14 сентября 2018
195
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ДОСТАНКО А.П., АГЕЕВ О.А., ГОЛОСОВ Д.А., ЗАВАДСКИЙ С.М., ЗАМБУРГ Е.Г., ВАКУЛОВ Д.Е.,ВАКУЛОВ З.Е.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=22018948

Аннотация

Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, получаемых методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс нанесенных пленок не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивления до 35 - 40 Ом · м, уменьшением оптической ширины запрещенной зоны и сдвигом края оптического пропускания с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.