РАЗРАБОТКА ДАТЧИКА ДИНАМИЧЕСКИХ ДЕФОРМАЦИЙ НА ОСНОВЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА

Работа включает в себя комплексное исследование сегнетоэлектрических пленок ЦТС на кремниевых подложках, полученных высокочастотным реактивным распылением. Определены оптимальные параметры напыления. Проведены структурные и электрофизические исследования, которые показали зависимости структурных и электрофизических параметров образцов от технологических параметров напыления. Рост толщин пленок зависит от времени напыления и составляет 600 ± 60 нм/ч. Значения емкостей полученных образцов лежат в диапазоне 200 - 2000 пФ, а диапазон поляризаций образцов лежит в пределах 0,06 - 24 мкКл/см 2. Значения рассчитанных пьезомодулей лежали в диапазоне 0,04*10 -12 - 140*10 -12Кл/Н. Сформированы макеты сенсорных элементов и исследовано влияние на них динамических деформаций. Результаты исследований показали, что варьируя структурными параметрами сенсорного элемента датчика динамических деформаций на основе сегнетоэлектрических пленок ЦТС, можно оптимально подбирать диапазон чувствительности. На основе созданных сенсорных конструкций собран рабочий макет датчика вибрации и ускорения.