МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ХЕМОСОРБЦИИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК ZNO ДЛЯ УСТРОЙСТВ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ

Представлены результаты теоретических исследований влияния хемосорбции CO, CO 2, NO 2, CH 4 и H 2 на электрофизические параметры наноразмерных пленок ZnO для разработки газовых сенсоров и мультисенсорных систем на их основе. Получены зависимости толщины пленки от температуры и концентрации газа при условии полного ее обеднения носителями заряда с учетом мономолекулярности заполнения ее поверхности адсорбируемым газом, с использованием изотермы Ленгмюра. Зависимость электропроводности наноразмерных пленок ZnO от температуры и концентрации газа строилась на основе модели Шиффера с учетом процессов рекомбинации носителей заряда на заряженных и нейтральных примесях. Оценка изменения концентрации носителей заряда в присутствии газов и определение констант скорости прямой и обратной реакций из теории ударных столкновений, позволило получить зависимость газочувствительности наноразмерных пленок ZnO от температуры и концентрации детектируемых газов. Определены параметры наноразмерных пленок ZnO для селективного детектирования газов.