АНАЛИЗ СТРУКТУРНЫХ НАРУШЕНИЙ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ БОРОМ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ДВУХ- И ТРЕХКРИСТАЛЬНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ
14 сентября 2018
430
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ПЕТРАКОВ А.П., ТИХОНОВ Н.А., ШИЛОВ С.В. |
| Ссылка на публикацию в интернете | journals.ioffe.ru/jtf/1998/06/p91-96.pdf |
Аннотация
На основе кривых дифракционного отражения и трехкристальных спектров проведен анализ структурных нарушений монокристаллов Si. Рассчитано относительное изменение периода решетки, распределение его по глубине, определен тип возникающих дефектов и поведение имплантированной примеси в результате термического отжига.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.