АНАЛИЗ СТРУКТУРНЫХ НАРУШЕНИЙ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ БОРОМ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ДВУХ- И ТРЕХКРИСТАЛЬНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ

14 сентября 2018
202
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ПЕТРАКОВ А.П., ТИХОНОВ Н.А., ШИЛОВ С.В.
Ссылка на публикацию в интернете journals.ioffe.ru/jtf/1998/06/p91-96.pdf

Аннотация

На основе кривых дифракционного отражения и трехкристальных спектров проведен анализ структурных нарушений монокристаллов Si. Рассчитано относительное изменение периода решетки, распределение его по глубине, определен тип возникающих дефектов и поведение имплантированной примеси в результате термического отжига.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.