ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ И КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ГИБРИДНЫХ СЕНСОРНЫХ СИСТЕМ

Рассматриваются технологические аспекты и конструктивные особенности гибридных сенсорных систем. Обсуждаются особенности и принципы построения элементов гибридных сенсорных систем, приведена их систематизация по конструктивным особенностям и технологии формирования элементов. Предложена классификация гибридных сенсорных систем по конструктивно-технологическим особенностям. Рассмотрена возможность использования различных материалов и технологий при формировании элементов гибридных систем с учетом биосовместимости. Отмечается, что при проектировании и разработке сенсорной системы необходимо учитывать размерный фактор, т.е. размер исследуемых объектов. Приводятся основные технологические процессы формирования элементов гибридных систем. Дана классификация процессов травления. Описаны основные принципы, лежащие в основе конструкции устройств сенсорных систем: принцип многоуровневости; принцип многоканальности (параллельности); принцип конвергенции; принцип дивергенции и принцип обратной связи. Сформулированы основные задачи и направления исследований в области создания гибридных сенсорных систем. Ключевые слова: ГИБРИДНАЯ СЕНСОРНАЯ СИСТЕМА, HYBRID SENSOR SYSTEM, ТЕХНОЛОГИЯ, TECHNOLOGY, МИКРОСИСТЕМА, НАНОТЕХНОЛОГИЯ, NANOTECHNOLOGY, БИОСЕНСОР, BIOSENSOR, КЛАССИФИКАЦИЯ, CLASSIFICATION, MICROSYSTEM