ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В СИСТЕМЕ NI-CR-SI ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

14 сентября 2018
222
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Ильин О.И., Климин В.С., Рубашкина М.В., Сергиенко К.С., Семенов А.С., Федотов А.А., Чинь Ван Мыой, Яненко В.Ю.
Ссылка на публикацию в интернете

Аннотация

Проведен термодинамический анализ реакций межфазного взаимодействия в структуре: Ni(10нм)/Cr(20нм)/Si(380мкм), который показал, что на начальной стадии нагрева Ar служит для вытеснения остаточных газов атмосферы, а NH 3 и H 2 связывают свободный O 2. На стадии активации роль NH 3 заключается в восстановлении Ni из его соединений с O 2 и Cr, при этом формируется проводящий подслой CrN/Cr 2N. Также показано, что независимо от фазового состояния Ni, на нем происходит разложение C 2H 2 с выделением C. При этом под каталитическими центрами образуется подслой CrN/Cr 2N/Cr, который, препятствует проникновению никеля в Si подложку, а также окислению Si, и является проводящим подслоем для обеспечения электрического контакта к углеродным нанотрубкам (УНТ). Проведены эксперименты по формированию каталитических центров на данной структуре с последующим ростом массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок. Полученные результаты могут быть использованы для разработки методики выбора материалов и определения режимов роста УНТ методом плазменного химического осаждения из газовой фазы (ПГФХО), так же как и для формирования критериев предъявляемых к структуре на которой будут формироваться каталитические центры с последующим ростом УНТ. Ключевые слова:
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.