ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В СИСТЕМЕ NI-CR-SI ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Проведен термодинамический анализ реакций межфазного взаимодействия в структуре: Ni(10нм)/Cr(20нм)/Si(380мкм), который показал, что на начальной стадии нагрева Ar служит для вытеснения остаточных газов атмосферы, а NH 3 и H 2 связывают свободный O 2. На стадии активации роль NH 3 заключается в восстановлении Ni из его соединений с O 2 и Cr, при этом формируется проводящий подслой CrN/Cr 2N. Также показано, что независимо от фазового состояния Ni, на нем происходит разложение C 2H 2 с выделением C. При этом под каталитическими центрами образуется подслой CrN/Cr 2N/Cr, который, препятствует проникновению никеля в Si подложку, а также окислению Si, и является проводящим подслоем для обеспечения электрического контакта к углеродным нанотрубкам (УНТ). Проведены эксперименты по формированию каталитических центров на данной структуре с последующим ростом массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок. Полученные результаты могут быть использованы для разработки методики выбора материалов и определения режимов роста УНТ методом плазменного химического осаждения из газовой фазы (ПГФХО), так же как и для формирования критериев предъявляемых к структуре на которой будут формироваться каталитические центры с последующим ростом УНТ. Ключевые слова: