ПРОФИЛИРОВАНИЕ ЗОНДОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ НАНОДИАГНОСТИКИ МЕТОДОМ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ

Представлены результаты экспериментальных исследований по профилированию зондов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) методом фокусированных ионных пучков (ФИП). С использованием локального ионно-лучевого травления методом ФИП получены кантилеверы с радиусом закругления острия около 10 нм и высоким аспектным отношением 1:50. Методом ФИП произведено профилирование вольфрамовых зондов СТМ, полученных методом электрохимического травления заготовок диаметром 0,1 мм. Показано, что применение локального травления ФИП позволяет уменьшить радиус закругления острия СТМ-зондов с 84,4 до 8,5 нм. Результаты исследования тестовых объектов профилированными зондами показывают возможность повышения разрешающей способности и достоверности измерений тестовых объектов методами АСМ и СТМ по сравнению со стандартными АСМ-кантилеверами и СТМ-зондами. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов и средств зондовой нанодиагностики структур микро- и наноэлектроники, наноструктурированных материалов, МЭМС и НЭМС. Ключевые слова: НАНОТЕХНОЛОГИИ, NANOTECHNOLOGIES, НАНОМАТЕРИАЛЫ, NANOMATERIALS, СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, SCANNING PROBE MICROSCOPY, ЗОНД, PROBE, КАНТИЛЕВЕР, CANTILEVER, ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК, FOCUSED ION BEAM, ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ, ION BEAM TREATMENT