ПРОФИЛИРОВАНИЕ ЗОНДОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ НАНОДИАГНОСТИКИ МЕТОДОМ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ

14 сентября 2018
250
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Быков А.В., Коломийцев А.С., Полякова В.В., Смирнов В.А.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=22540231

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований по профилированию зондов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) и сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) методом фокусированных ионных пучков (ФИП). С использованием локального ионно-лучевого травления методом ФИП получены кантилеверы с радиусом закругления острия около 10 нм и высоким аспектным отношением 1:50. Методом ФИП произведено профилирование вольфрамовых зондов СТМ, полученных методом электрохимического травления заготовок диаметром 0,1 мм. Показано, что применение локального травления ФИП позволяет уменьшить радиус закругления острия СТМ-зондов с 84,4 до 8,5 нм. Результаты исследования тестовых объектов профилированными зондами показывают возможность повышения разрешающей способности и достоверности измерений тестовых объектов методами АСМ и СТМ по сравнению со стандартными АСМ-кантилеверами и СТМ-зондами. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов и средств зондовой нанодиагностики структур микро- и наноэлектроники, наноструктурированных материалов, МЭМС и НЭМС. Ключевые слова: НАНОТЕХНОЛОГИИ, NANOTECHNOLOGIES, НАНОМАТЕРИАЛЫ, NANOMATERIALS, СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, SCANNING PROBE MICROSCOPY, ЗОНД, PROBE, КАНТИЛЕВЕР, CANTILEVER, ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК, FOCUSED ION BEAM, ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ, ION BEAM TREATMENT
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.