МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ КОМПОНЕНТОВ НА ОСНОВЕ БИБЛИОТЕКИ МИКРОФРАГМЕНТОВ

14 сентября 2018
234
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Лысенко И.Е., Ежова О.А., Куликова И.В., Приступчик Н.К.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=22540240

Аннотация

Настоящая работа посвящена разработке методики проектирования микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Предлагаемая методика основана на использовании унифицированных структурно-топологических примитивов, разработанных авторами. Компоненты микроэлектромеханических систем характеризуются высокой сложностью проектирования, поскольку при их необходимо учитывать разнообразные физические эффекты, лежащие в основе их функционирования. Учитывая функциональную сложность компонентов данных микромеханических систем, для обеспечения сокращения времени проектирования используются различные методы автоматизации при проектировании, опирающихся на вычислительную базу. Предлагается данные микромеханические компоненты разбивать на элементы по функциональному признаку. Основное внимание обращено на методологию проектирования микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений на основе библиотеки микрофрагментов, разработанных под редактор топологии L-Edit системы автоматизированного проектирования Tanner EDA. Разработка структурно-топологических примитивов микрофрагментов выполнена с учетом технологических норм изготовления процесса поверхностной микрообработки MUMPs. Ключевые слова: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM, ГИРОСКОП, АКСЕЛЕРОМЕТР, ACCELEROMETER, КОНСТРУКЦИЯ, МОДЕЛЬ, GYROSCOPE, DESIGN MODEL
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.