ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР МИКРОФЛЮИДИКИ ДЛЯ ГИБРИДНЫХ СИСТЕМ МЕТОДОМ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ
14 сентября 2018
338
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | МАТВЕЕВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, ИЛЬИН ОЛЕГ ИГОРЕВИЧ, ЛИСИЦЫН СЕРГЕЙ АНДРЕЕВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=18797671 |
Аннотация
В работе проведены экспериментальные исследования технологических режимов формирования элементов микрофлюидики для гибридных сенсорных систем методом фокусированных ионных пучков на многофункциональном сверхвысоковакуумном нанотехнологическом комплексе НАНОФАБ НТК-9. Определены параметры фокусированного ионного пучка, позволяющие формировать элементы микрофлюидики с заданными размерами. Отработана методика формирования макетов элементов микрофлюидики на подложке кремния. Параметры сформированных элементов исследованы методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии. Сформированы и исследованы фильтрующие мембраны, содержащие отверстия диаметром от 105 до 150 нм. Полученные результаты могут быть использованы при формировании наноразмерных структур и разработке технологических процессов изготовления элементов микрофлюидики для гибридных систем и лабораторий-на-кристалле.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.