ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР МИКРОФЛЮИДИКИ ДЛЯ ГИБРИДНЫХ СИСТЕМ МЕТОДОМ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ

14 сентября 2018
110
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации МАТВЕЕВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, ИЛЬИН ОЛЕГ ИГОРЕВИЧ, ЛИСИЦЫН СЕРГЕЙ АНДРЕЕВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=18797671

Аннотация

В работе проведены экспериментальные исследования технологических режимов формирования элементов микрофлюидики для гибридных сенсорных систем методом фокусированных ионных пучков на многофункциональном сверхвысоковакуумном нанотехнологическом комплексе НАНОФАБ НТК-9. Определены параметры фокусированного ионного пучка, позволяющие формировать элементы микрофлюидики с заданными размерами. Отработана методика формирования макетов элементов микрофлюидики на подложке кремния. Параметры сформированных элементов исследованы методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии. Сформированы и исследованы фильтрующие мембраны, содержащие отверстия диаметром от 105 до 150 нм. Полученные результаты могут быть использованы при формировании наноразмерных структур и разработке технологических процессов изготовления элементов микрофлюидики для гибридных систем и лабораторий-на-кристалле.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.