ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ С ПОДЛОЖКОЙ

14 сентября 2018
208
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=16405090

Аннотация

Представлены результаты теоретических исследований параметров взаимодействия ускоренных ионов с различными подложками методом фокусированных ионных пучков. Установлено, что в рабочем диапазоне энергий глубина проникновения ионов галлия в подложку лежит в диапазоне 5 - 25 нм. Определены значения энергии связи для кремния, алюминия и окисла кремния, необходимые для получения адекватных результатов при моделировании параметров распыления материалов аналитическими методами. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления элементов и приборов микро- и наносистемной техники.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.