ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ С ПОДЛОЖКОЙ
14 сентября 2018
494
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=16405090 |
Аннотация
Представлены результаты теоретических исследований параметров взаимодействия ускоренных ионов с различными подложками методом фокусированных ионных пучков. Установлено, что в рабочем диапазоне энергий глубина проникновения ионов галлия в подложку лежит в диапазоне 5 - 25 нм. Определены значения энергии связи для кремния, алюминия и окисла кремния, необходимые для получения адекватных результатов при моделировании параметров распыления материалов аналитическими методами. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления элементов и приборов микро- и наносистемной техники.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.