Масс-спектрометрический метод определения концентрации паров воды в подкорпусном пространстве микросхем

Предложен новый методологический подход к проведению измерений по определению концентрации паров воды в подкропусных пространствах ИС и устройств физической электроники. Разработана и внедрена аппаратура, позволяющая определять в условиях НИИ и промышленных производств количество влаги внутри герметизированных радиоэлектронных устройств с высокой точностью, а также создан инструмент для проведения исследований по определению влагосодержания различных материалов, применяемых в микроэлектронной промышленности. Разработано метрологическое обеспечение, реализован новый способ калибровки для количественного определения паров воды. Разработанная аппаратура (комплекс МКМ-1) позволяет проводить измерения, необходимые для выработки технических требований (стандартов) для новой продукции микроэлектроники.