Масс-спектрометрический метод определения концентрации паров воды в подкорпусном пространстве микросхем

14 сентября 2018
97
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Федичкин И.Л., Тюкальцев Р.В., Никитина Т.А.
Ссылка на публикацию в интернете

Аннотация

Предложен новый методологический подход к проведению измерений по определению концентрации паров воды в подкропусных пространствах ИС и устройств физической электроники. Разработана и внедрена аппаратура, позволяющая определять в условиях НИИ и промышленных производств количество влаги внутри герметизированных радиоэлектронных устройств с высокой точностью, а также создан инструмент для проведения исследований по определению влагосодержания различных материалов, применяемых в микроэлектронной промышленности. Разработано метрологическое обеспечение, реализован новый способ калибровки для количественного определения паров воды. Разработанная аппаратура (комплекс МКМ-1) позволяет проводить измерения, необходимые для выработки технических требований (стандартов) для новой продукции микроэлектроники.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.