ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Приведены результаты ACM-исследования наноструктуры поверхнос¬ти тонких рентгеноаморфных пленок серебра, меди и железа толщиной 40¬60 нм, нанесенных в условиях неглубокого вакуума методом термического осаждения на стеклянную подложку, текстолит и полимерную рентгеновскую пленку при комнатной температуре. Получены изображения поверхности тонких пленок на растровом электронном микроскопе с применением энер¬годисперсионного анализа для оценки микроуровневого строения пленок и контроля состава поверхности подложек и пленок. Показано, что в тонких пленках толщиной в десятки нанометров строение поверхности подложки оказывает существенное влияние на морфологию поверхности и структуру металлических пленок.