ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

14 сентября 2018
134
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации АНТОНЕЦ И.В., КОТОВ Л.Н., НЕКИПЕЛОВ С.В.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21518225

Аннотация

Приведены результаты ACM-исследования наноструктуры поверхнос¬ти тонких рентгеноаморфных пленок серебра, меди и железа толщиной 40¬60 нм, нанесенных в условиях неглубокого вакуума методом термического осаждения на стеклянную подложку, текстолит и полимерную рентгеновскую пленку при комнатной температуре. Получены изображения поверхности тонких пленок на растровом электронном микроскопе с применением энер¬годисперсионного анализа для оценки микроуровневого строения пленок и контроля состава поверхности подложек и пленок. Показано, что в тонких пленках толщиной в десятки нанометров строение поверхности подложки оказывает существенное влияние на морфологию поверхности и структуру металлических пленок.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.