ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК НА ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
14 сентября 2018
200
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | АНТОНЕЦ И.В., КОТОВ Л.Н., НЕКИПЕЛОВ С.В. |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21518225 |
Аннотация
Приведены результаты ACM-исследования наноструктуры поверхнос¬ти тонких рентгеноаморфных пленок серебра, меди и железа толщиной 40¬60 нм, нанесенных в условиях неглубокого вакуума методом термического осаждения на стеклянную подложку, текстолит и полимерную рентгеновскую пленку при комнатной температуре. Получены изображения поверхности тонких пленок на растровом электронном микроскопе с применением энер¬годисперсионного анализа для оценки микроуровневого строения пленок и контроля состава поверхности подложек и пленок. Показано, что в тонких пленках толщиной в десятки нанометров строение поверхности подложки оказывает существенное влияние на морфологию поверхности и структуру металлических пленок.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.