РАСЧЕТ УПРУГИХ ДЕФОРМАЦИЙ В НЕОДНОРОДНОЙ НАНОРАЗМЕРНОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКЕ НА ПОДЛОЖКЕ

14 сентября 2018
319
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации БЫЧКОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=19527844

Аннотация

Исследовано распределение концентрации Ge в пирамидальных островках на поверхности полупро- водниковой пленки, состоящих из сплава SiGe. Построена трехмерная модель островков Странского − Крастанова. Расчет упругих деформаций был выполнен с использованием метода конечных элементов. Для расчета распределения Ge использованы аппроксимирующие формулы и итерационный алгоритм.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.