РАСЧЕТ УПРУГИХ ДЕФОРМАЦИЙ В НЕОДНОРОДНОЙ НАНОРАЗМЕРНОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКЕ НА ПОДЛОЖКЕ
14 сентября 2018
377
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | БЫЧКОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=19527844 |
Аннотация
Исследовано распределение концентрации Ge в пирамидальных островках на поверхности полупро- водниковой пленки, состоящих из сплава SiGe. Построена трехмерная модель островков Странского − Крастанова. Расчет упругих деформаций был выполнен с использованием метода конечных элементов. Для расчета распределения Ge использованы аппроксимирующие формулы и итерационный алгоритм.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.