ПОЛУЧЕНИE НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА НАНОФАБ НТК-9

14 сентября 2018
277
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, МИХАЙЛИЧЕНКО АЛЕКСАНДР ВАЛЕРЬЕВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ПТАШНИК ВИТАЛИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, СОЛОДОВНИК МАКСИМ СЕРГЕЕВИЧ, ФЕДОТОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАМБУРГ ЕВГЕНИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ, КЛИМИН ВИКТОР
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=15604225

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований режимов изготовления структур наноэлектроники и наносистемной техники на основе использования автоматизированной платформы кластерного типа НАНОФАБ НТК-9. Проведены экспериментальные исследования по формированию микрожидкосных ячеек и элементов нанофлюидики методом ионно-лучевого травления. Проведено травление микролинзовых структур. Сформированы тонкие пленки оксидов ванадия и цинка и исследованы их свойства. Проведен рост ориентированных массивов гибридных углеродных наноструктур.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.