ПОЛУЧЕНИE НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА НАНОФАБ НТК-9
14 сентября 2018
277
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, МИХАЙЛИЧЕНКО АЛЕКСАНДР ВАЛЕРЬЕВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ПТАШНИК ВИТАЛИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, СОЛОДОВНИК МАКСИМ СЕРГЕЕВИЧ, ФЕДОТОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЗАМБУРГ ЕВГЕНИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ, КЛИМИН ВИКТОР |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=15604225 |
Аннотация
Представлены результаты экспериментальных исследований режимов изготовления структур наноэлектроники и наносистемной техники на основе использования автоматизированной платформы кластерного типа НАНОФАБ НТК-9. Проведены экспериментальные исследования по формированию микрожидкосных ячеек и элементов нанофлюидики методом ионно-лучевого травления. Проведено травление микролинзовых структур. Сформированы тонкие пленки оксидов ванадия и цинка и исследованы их свойства. Проведен рост ориентированных массивов гибридных углеродных наноструктур.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.