ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ КАТАЛИТИЧЕСКИХ СТРУКТУР ИЗ ПЛЕНКИ NI ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

Каталитические центры сформированы на подложке из пленки никеля на кремниевой подложке с подслоем ванадия нагревом в реакторе модуля нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9 в рабочей атмосфере газов аммиака и аргона. Были исследованы режимы получения каталитических центров на различных стадиях их формирования, проведены эксперименты по влиянию давления на стадии активации, получены зависимости их геометрических параметров, таких как диаметр, средняя высота, шероховатость, объем и другие от температуры формирования. Сведения, полученные из зависимостей, позволили оптимизировать процесс выращивания углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы в индуцированной плазме.