ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ КАТАЛИТИЧЕСКИХ СТРУКТУР ИЗ ПЛЕНКИ NI ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

14 сентября 2018
184
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации КЛИМИН ВИКТОР СЕРГЕЕВИЧ, АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, ИЛЬИН ОЛЕГ ИГОРЕВИЧ, ФЕДОТОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=16351771

Аннотация

Каталитические центры сформированы на подложке из пленки никеля на кремниевой подложке с подслоем ванадия нагревом в реакторе модуля нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9 в рабочей атмосфере газов аммиака и аргона. Были исследованы режимы получения каталитических центров на различных стадиях их формирования, проведены эксперименты по влиянию давления на стадии активации, получены зависимости их геометрических параметров, таких как диаметр, средняя высота, шероховатость, объем и другие от температуры формирования. Сведения, полученные из зависимостей, позволили оптимизировать процесс выращивания углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы в индуцированной плазме.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.