ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ МОДИФИКАЦИИ ЗОНДОВ ДЛЯ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ КРИТИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ ОСАЖДЕНИЕМ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

14 сентября 2018
197
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации АГЕЕВ ОЛЕГ АЛЕКСЕЕВИЧ, БЫКОВ АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ, КОЛОМИЙЦЕВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, КОНОПЛЕВ БОРИС ГЕОРГИЕВИЧ, РУБАШКИНА МАРИНА ВЛАДИМИРОВНА, СМИРНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЦУКАНОВА ОЛЕСЯ ГЕННАДЬЕВНА
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=23327644

Аннотация

Представлены результаты экспериментальных исследований модификации зондов для атомно-силовой микроскопии критических размеров (Critical Dimension Atomic Force Microscopy - CD-AFM) осаждением углеродных нанотрубок (УНТ) для повышения точности определения шероховатости поверхности вертикальных стенок субмикронных структур. Исследованы методы осаждения индивидуальной УНТ на острие зонда атомно-силового микроскопа (АСМ), основанные на механическом и электростатическом взаимодействиях между зондом и массивом вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ). Показано, что при расстоянии между острием АСМ-зонда и массивом ВОУНТ 1 нм и приложении напряжения в диапазоне 20-30 В, на острие осаждается индивидуальная углеродная нанотрубка. На основании полученных результатов сформирован зонд с углеродной нанотрубкой на острие (УНТ-зонд) радиусом 7 нм и аспектным отношением 1:15. Исследования УНТ-зонда показали, что его применение повышает разрешающую способность и достоверность измерений АСМ-методом по сравнению с коммерческим зондом, а также позволяет определять шероховатость вертикальных стенок высокоаспектных структур методом CD-AFM. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и восстановления специальных АСМ-зондов, в том числе зондов для CD-AFM, а также при разработке методик межоперационного экспресс-контроля параметров технологического процесса производства элементов микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.