МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НЕОРГАНИЧЕСКОГО СТЕКЛОВИДНОГО ДИЭЛЕКТРИКА

14 сентября 2018
114
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации МАЛЮКОВ СЕРГЕЙ ПАВЛОВИЧ, КЛУННИКОВА ЮЛИЯ ВЛАДИМИРОВНА, БУЙ ТХАНЬ ХАЙ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=23404183

Аннотация

Рассмотрена методика исследования процессов лазерной обработки неорганического стекловидного диэлектрика для элементов микросистемной техники с использованием методов численного моделирования, в частности метода конечных элементов. Разработана модель процессов лазерной обработки стекловидного диэлектрика, позволяющая анализировать распределение температуры на поверхности боросиликатного стекла при разной скорости сканирования лазерного луча. Моделирование процесса лазерной обработки проводилось в системе анализа ANSYS.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.