МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НЕОРГАНИЧЕСКОГО СТЕКЛОВИДНОГО ДИЭЛЕКТРИКА
14 сентября 2018
314
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | МАЛЮКОВ СЕРГЕЙ ПАВЛОВИЧ, КЛУННИКОВА ЮЛИЯ ВЛАДИМИРОВНА, БУЙ ТХАНЬ ХАЙ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=23404183 |
Аннотация
Рассмотрена методика исследования процессов лазерной обработки неорганического стекловидного диэлектрика для элементов микросистемной техники с использованием методов численного моделирования, в частности метода конечных элементов. Разработана модель процессов лазерной обработки стекловидного диэлектрика, позволяющая анализировать распределение температуры на поверхности боросиликатного стекла при разной скорости сканирования лазерного луча. Моделирование процесса лазерной обработки проводилось в системе анализа ANSYS.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.