О ВЛИЯНИИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ AL2O3
14 сентября 2018
360
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | АВДЕЕВ СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ, ЛУГОВОЙ ЕВГЕНИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, СЕРБА ПАВЕЛ ВИКТОРОВИЧ |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=16351750 |
Аннотация
Рассмотрены вопросы синтеза тонких монолитных пленок золь-гель технологией с рекристаллизацией электронным лучом. Пленкообразующей основой выбран изопропилат алюминия, который позволяет получить высокочистый ксерогель. Это неоднородное со- стояние пленки является исходным материалом для рекристаллизации электронным лучом в монолитную пленку Al2O3. Показано, что при электронно-лучевой обработке при низкой предварительной температуре подогрева образца, могут формироваться островковые монолитные пленки Al2O3. Приведены результаты экспериментальных исследований и предложен механизм формирования полученных пленок.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.