О ВЛИЯНИИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ AL2O3

14 сентября 2018
158
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации АВДЕЕВ СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ, ЛУГОВОЙ ЕВГЕНИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, СЕРБА ПАВЕЛ ВИКТОРОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=16351750

Аннотация

Рассмотрены вопросы синтеза тонких монолитных пленок золь-гель технологией с рекристаллизацией электронным лучом. Пленкообразующей основой выбран изопропилат алюминия, который позволяет получить высокочистый ксерогель. Это неоднородное со- стояние пленки является исходным материалом для рекристаллизации электронным лучом в монолитную пленку Al2O3. Показано, что при электронно-лучевой обработке при низкой предварительной температуре подогрева образца, могут формироваться островковые монолитные пленки Al2O3. Приведены результаты экспериментальных исследований и предложен механизм формирования полученных пленок.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.