ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ МАССИВОВ МИКРО- И НАНОСТЕРЖНЕЙ ZNO НА ПОДЛОЖКАХ SI С ПЛЕНОЧНЫМ ПОДСЛОЕМ ZNO

Методом карботермического синтеза на подложках кремния с тонкими пленочными подслоями оксида цинка, с использованием меди в качестве катализатора роста получены массивы вертикально ориентированных стержней оксида цинка. Определена оптимальная температура роста этих структур - 770 оС. Установлено, что при температурах на 50 оС выше и ниже данной (820 оС и 720 оС, соответственно) рост стержней подавляется. Показана возможность варьирования средней длины и диаметра стержней путем изменения толщины пленочного подслоя в диапазоне 50 - 100 нм. При толщинах подслоев вне указанного диапазона рост массивов вертикально ориентированных стержней оксида цинка также подавляется.