ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ МАССИВОВ МИКРО- И НАНОСТЕРЖНЕЙ ZNO НА ПОДЛОЖКАХ SI С ПЛЕНОЧНЫМ ПОДСЛОЕМ ZNO

14 сентября 2018
167
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ЛЯНГУЗОВ НИКОЛАЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, ДРЮКОВ АЛЕКСАНДР ГЕННАДЬЕВИЧ, КАЙДАШЕВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=17738909

Аннотация

Методом карботермического синтеза на подложках кремния с тонкими пленочными подслоями оксида цинка, с использованием меди в качестве катализатора роста получены массивы вертикально ориентированных стержней оксида цинка. Определена оптимальная температура роста этих структур - 770 оС. Установлено, что при температурах на 50 оС выше и ниже данной (820 оС и 720 оС, соответственно) рост стержней подавляется. Показана возможность варьирования средней длины и диаметра стержней путем изменения толщины пленочного подслоя в диапазоне 50 - 100 нм. При толщинах подслоев вне указанного диапазона рост массивов вертикально ориентированных стержней оксида цинка также подавляется.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.