РЕНТГЕНОВСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ И ЛАЗЕРНОЙ ДИФФУЗИИ БОРА В КРЕМНИИ

14 сентября 2018
283
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ШИЛОВ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, КОТОВ ЛЕОНИД НАФАНАИЛОВИЧ, ПЕТРАКОВ АНАТОЛИЙ ПАВЛОВИЧ, АСАДУЛЛИН ФАНУР ФАРИТОВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=17803600

Аннотация

Методами дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано изменение структуры монокристаллов кремния при термической и лазерной диффузии бора. Установлены толщины легированных слоев, средние деформации, факторы аморфизации, типы дефектов, а также их плотности и размеры.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.