РЕНТГЕНОВСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ И ЛАЗЕРНОЙ ДИФФУЗИИ БОРА В КРЕМНИИ
14 сентября 2018
348
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ШИЛОВ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, КОТОВ ЛЕОНИД НАФАНАИЛОВИЧ, ПЕТРАКОВ АНАТОЛИЙ ПАВЛОВИЧ, АСАДУЛЛИН ФАНУР ФАРИТОВИЧ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=17803600 |
Аннотация
Методами дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано изменение структуры монокристаллов кремния при термической и лазерной диффузии бора. Установлены толщины легированных слоев, средние деформации, факторы аморфизации, типы дефектов, а также их плотности и размеры.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.