СОПРОТИВЛЕНИЕ И ОКИСЛЕНИЕ ПЛЁНОК ЖЕЛЕЗА И ВЛИЯНИЕ ВЕРХНЕГО СЛОЯ ИЗ ДИЭЛЕКТРИКОВ И МЕТАЛЛА
14 сентября 2018
342
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | КОТОВ ЛЕОНИД НАФАНАИЛОВИЧ, АНТОНЕЦ ИГОРЬ ВИКТОРОВИЧ, КОРОЛЕВ РОМАН ИВАНОВИЧ, МАКАРОВ ПАВЕЛ АНДРЕЕВИЧ |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=17316421 |
Аннотация
Методом вакуумного осаждения на полимерной подложке получены тонкие плёнки Fe и двухслойные плёнки: (Fe)X (Al)Y, (Fe)X(WO3)Y, (Fe)X (MoO3)Y толщиной ~5-100 нм. Получены зависимости электрического сопротивления и массы на единицу поверхности плёнки от времени напыления, нахождения в вакууме и на воздухе. Проанализировано влияние верхнего слоя из металла Al и диэлектриков WO3, MoO3 на сопротивление и скорость окисления нижнего слоя Fe на воздухе.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.