СОПРОТИВЛЕНИЕ И ОКИСЛЕНИЕ ПЛЁНОК ЖЕЛЕЗА И ВЛИЯНИЕ ВЕРХНЕГО СЛОЯ ИЗ ДИЭЛЕКТРИКОВ И МЕТАЛЛА

14 сентября 2018
121
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации КОТОВ ЛЕОНИД НАФАНАИЛОВИЧ, АНТОНЕЦ ИГОРЬ ВИКТОРОВИЧ, КОРОЛЕВ РОМАН ИВАНОВИЧ, МАКАРОВ ПАВЕЛ АНДРЕЕВИЧ
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=17316421

Аннотация

Методом вакуумного осаждения на полимерной подложке получены тонкие плёнки Fe и двухслойные плёнки: (Fe)X (Al)Y, (Fe)X(WO3)Y, (Fe)X (MoO3)Y толщиной ~5-100 нм. Получены зависимости электрического сопротивления и массы на единицу поверхности плёнки от времени напыления, нахождения в вакууме и на воздухе. Проанализировано влияние верхнего слоя из металла Al и диэлектриков WO3, MoO3 на сопротивление и скорость окисления нижнего слоя Fe на воздухе.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.