СОРБЦИОННЫЕ ГАЗОВЫЕ ДАТЧИКИ НА ОСНОВЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МЕМБРАННОЙ КОНСТРУКЦИИ
14 сентября 2018
267
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ВЕСЕЛОВ Д.С.1, ВОРОНОВ Ю.А.1, БОЧКАРЁВА В.В.1, ВОРОНОВ С.А.1, ОРЛОВА Л.К.1; 1 Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ” |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=18448938 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ЯДЕРНАЯ ФИЗИКА И ИНЖИНИРИНГ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2079-5629
АННОТАЦИЯ:
На основе планарной технологии изготовления микроэлектронных структур разработана технология изготовления универсальной диэлектрической мембранной конструкции для сорбционных газовых датчиков, основанная на разделении операции одностороннего анизотропного травления полостей под образование мембран на два этапа (основной и завершающий) [1], отличающаяся формированием разноуровневого протрава полостей под образование мембран и разделительных полос на основном этапе анизотропного травления кремния, позволяющая все технологические операции проводить групповым методом и пригодная для серийного производства сорбционных датчиков для выявления практически любого газа.
ПодробнееЯДЕРНАЯ ФИЗИКА И ИНЖИНИРИНГ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2079-5629
АННОТАЦИЯ:
На основе планарной технологии изготовления микроэлектронных структур разработана технология изготовления универсальной диэлектрической мембранной конструкции для сорбционных газовых датчиков, основанная на разделении операции одностороннего анизотропного травления полостей под образование мембран на два этапа (основной и завершающий) [1], отличающаяся формированием разноуровневого протрава полостей под образование мембран и разделительных полос на основном этапе анизотропного травления кремния, позволяющая все технологические операции проводить групповым методом и пригодная для серийного производства сорбционных датчиков для выявления практически любого газа.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.