МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДА ПРИ НАНЕСЕНИИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ
14 сентября 2018
369
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ЛИТВИН Н.В.1, ЕРМОЛАЕВА Н.В.1 1 Волгодонский инженерно-технический институт НИЯУ МИФИ, Ростовская обл. |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=20301170 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ВЕСТНИК НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЯДЕРНОГО УНИВЕРСИТЕТА МИФИ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2304-487X
АННОТАЦИЯ:
Разработана математическая модель процесса образования силицида при контакте металлической пленки с кремниевой подложкой. Модель позволяет определить скорость образования новой фазы, рассчитать параметры переходного слоя в зависимости от условий реакции.
ПодробнееВЕСТНИК НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЯДЕРНОГО УНИВЕРСИТЕТА МИФИ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2304-487X
АННОТАЦИЯ:
Разработана математическая модель процесса образования силицида при контакте металлической пленки с кремниевой подложкой. Модель позволяет определить скорость образования новой фазы, рассчитать параметры переходного слоя в зависимости от условий реакции.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.