МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД С РАСПЛАВЛЕННЫМ КАТОДОМ

14 сентября 2018
241
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ТУМАРКИН АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ1, ХОДАЧЕНКО ГЕОРГИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ1, КАЗИЕВ АНДРЕЙ ВИКТОРОВИЧ1, ЩЕЛКАНОВ ИВАН АНАТОЛЬЕВИЧ1, СТЕПАНОВА ТАТЬЯНА ВЛАДИМИРОВНА1
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=20174450

Аннотация

ЖУРНАЛ:


УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:


МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД, РЕЖИМ САМОРАСПЫЛЕНИЯ, РАСПЫЛЕНИЕ ИЗ ЖИДКОЙ ФАЗЫ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ИМПУЛЬСНАЯ ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА, СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ

ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:


Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение 14.А18.21.1174 и ГК № 11.519.11.6009).

АННОТАЦИЯ:

Представлены результаты диагностики плазмы стационарного магнетронного разряда с расплавленным медным катодом в режиме самораспыления. Для определения параметров плазмы разряда использовалась импульсная зондовая диагностика. Методом оптической эмиссионной спектроскопии определялся элементный состав плазмы. Исследовалась эволюция разрядных параметров. Получены вольт-амперные характеристики устойчивых режимов существования магнетронного разряда с расплавленным катодом в отсутствие подачи рабочего газа. Скорость осаждения покрытия из меди на расстоянии 26 см от поверхности катода составила 12 мкм/ мин.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.