| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ТУМАРКИН АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ1, ХОДАЧЕНКО ГЕОРГИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ1, КАЗИЕВ АНДРЕЙ ВИКТОРОВИЧ1, ЩЕЛКАНОВ ИВАН АНАТОЛЬЕВИЧ1, СТЕПАНОВА ТАТЬЯНА ВЛАДИМИРОВНА1 |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=20174450 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД, РЕЖИМ САМОРАСПЫЛЕНИЯ, РАСПЫЛЕНИЕ ИЗ ЖИДКОЙ ФАЗЫ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ИМПУЛЬСНАЯ ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА, СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение 14.А18.21.1174 и ГК № 11.519.11.6009).
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты диагностики плазмы стационарного магнетронного разряда с расплавленным медным катодом в режиме самораспыления. Для определения параметров плазмы разряда использовалась импульсная зондовая диагностика. Методом оптической эмиссионной спектроскопии определялся элементный состав плазмы. Исследовалась эволюция разрядных параметров. Получены вольт-амперные характеристики устойчивых режимов существования магнетронного разряда с расплавленным катодом в отсутствие подачи рабочего газа. Скорость осаждения покрытия из меди на расстоянии 26 см от поверхности катода составила 12 мкм/ мин.
ПодробнееУСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД, РЕЖИМ САМОРАСПЫЛЕНИЯ, РАСПЫЛЕНИЕ ИЗ ЖИДКОЙ ФАЗЫ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ИМПУЛЬСНАЯ ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА, СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение 14.А18.21.1174 и ГК № 11.519.11.6009).
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты диагностики плазмы стационарного магнетронного разряда с расплавленным медным катодом в режиме самораспыления. Для определения параметров плазмы разряда использовалась импульсная зондовая диагностика. Методом оптической эмиссионной спектроскопии определялся элементный состав плазмы. Исследовалась эволюция разрядных параметров. Получены вольт-амперные характеристики устойчивых режимов существования магнетронного разряда с расплавленным катодом в отсутствие подачи рабочего газа. Скорость осаждения покрытия из меди на расстоянии 26 см от поверхности катода составила 12 мкм/ мин.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.