ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛЬНОТОЧНОГО ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА С УПРАВЛЯЕМОЙ КОНФИГУРАЦИЕЙ ВНЕШНЕГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ
14 сентября 2018
212
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | КАЗИЕВ АНДРЕЙ ВИКТОРОВИЧ1, ХРОМОВ ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ1, ЩЕЛКАНОВ ИВАН АНАТОЛЬЕВИЧ1, ХОДАЧЕНКО ГЕОРГИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ1, СТЕПАНОВА ТАТЬЯНА ВЛАДИМИРОВНА1, ТУМАРКИН АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ1 |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=20138506 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ИМПУЛЬСНЫЙ РАЗРЯД, МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД, УПРАВЛЕНИЕ РАСПЫЛЁННЫМ ПОТОКОМ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ИМПУЛЬСНАЯ ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение 14.А18.21.1174 и ГК № 11.519.11.6009).
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты исследования влияния дополнительного магнитного поля, создаваемого специально разработанной системой катушек постоянного тока, на пространственное распределение распылённого потока в процессе сильноточного импульсного магнетронного разряда (СИМР). Проведены измерения параметров плазмы СИМР как с основной, так и с модифицированной конфигурацией внешнего магнитного поля. Показано, что применение дополнительной магнитной системы слабо влияет на параметры плазмы в разрядной области, однако позволяет заметно повысить скорость нанесения покрытий и эффективность расходования материала катода.
ПодробнееУСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ИМПУЛЬСНЫЙ РАЗРЯД, МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД, УПРАВЛЕНИЕ РАСПЫЛЁННЫМ ПОТОКОМ, СКОРОСТЬ ОСАЖДЕНИЯ, ИМПУЛЬСНАЯ ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение 14.А18.21.1174 и ГК № 11.519.11.6009).
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты исследования влияния дополнительного магнитного поля, создаваемого специально разработанной системой катушек постоянного тока, на пространственное распределение распылённого потока в процессе сильноточного импульсного магнетронного разряда (СИМР). Проведены измерения параметров плазмы СИМР как с основной, так и с модифицированной конфигурацией внешнего магнитного поля. Показано, что применение дополнительной магнитной системы слабо влияет на параметры плазмы в разрядной области, однако позволяет заметно повысить скорость нанесения покрытий и эффективность расходования материала катода.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.