ИЗМЕНЕНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ИМПЛАНТИРОВАННОЙ ИОНАМИ ЦИНКА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССЕ ОБРАЗОВАНИЯ НАНОЧАСТИЦ ПРИ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ
14 сентября 2018
359
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ПРИВЕЗЕНЦЕВ В.В.1, ТАБАЧКОВА Н.Ю.2, КУЛИКАУСКАС В.С.3, ПЕТРОВ Д.В.3, ЛЕБЕДИНСКИЙ Ю.Ю.4 1 Бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук, Moсква 2 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высше |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=20130274 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ИЗВЕСТИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК. СЕРИЯ ФИЗИЧЕСКАЯ
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0367-6765
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты исследования формирования наночастиц (НЧ) на поверхности кремниевых пластин после имплантации цинка и термических отжигов. Для исследования использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, электронографии, энергодисперсионного микроанализа, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной/оже-спектроскопии. Установлено, что в имплантированных образцах на поверхности находятся только пленка аморфизованного кремния, содержащего имплантированный цинк и кислород, и загрязнения углеродом. Термообработка в диапазоне 400800°C приводит к образованию на поверхности пластин кроме окисного слоя кремния толщиной около 20 нм еще и НЧ с поперечным размером 2050 нм и высотой до 10 нм. Эти НЧ состоят из соединений окисленного цинка типа ZnO, ZnSiO3 или Zn2SiO4. После отжига при 1000°C эти НЧ исчезают.
ПодробнееИЗВЕСТИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК. СЕРИЯ ФИЗИЧЕСКАЯ
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0367-6765
АННОТАЦИЯ:
Представлены результаты исследования формирования наночастиц (НЧ) на поверхности кремниевых пластин после имплантации цинка и термических отжигов. Для исследования использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, электронографии, энергодисперсионного микроанализа, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной/оже-спектроскопии. Установлено, что в имплантированных образцах на поверхности находятся только пленка аморфизованного кремния, содержащего имплантированный цинк и кислород, и загрязнения углеродом. Термообработка в диапазоне 400800°C приводит к образованию на поверхности пластин кроме окисного слоя кремния толщиной около 20 нм еще и НЧ с поперечным размером 2050 нм и высотой до 10 нм. Эти НЧ состоят из соединений окисленного цинка типа ZnO, ZnSiO3 или Zn2SiO4. После отжига при 1000°C эти НЧ исчезают.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.