ИЗМЕНЕНИЕ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА ИМПЛАНТИРОВАННОЙ ИОНАМИ ЦИНКА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В ПРОЦЕССЕ ОБРАЗОВАНИЯ НАНОЧАСТИЦ ПРИ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ

14 сентября 2018
135
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ПРИВЕЗЕНЦЕВ В.В.1, ТАБАЧКОВА Н.Ю.2, КУЛИКАУСКАС В.С.3, ПЕТРОВ Д.В.3, ЛЕБЕДИНСКИЙ Ю.Ю.4 1 Бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук, Moсква 2 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высше
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=20130274

Аннотация

ЖУРНАЛ:


ИЗВЕСТИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК. СЕРИЯ ФИЗИЧЕСКАЯ
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0367-6765

АННОТАЦИЯ:

Представлены результаты исследования формирования наночастиц (НЧ) на поверхности кремниевых пластин после имплантации цинка и термических отжигов. Для исследования использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, электронографии, энергодисперсионного микроанализа, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной/оже-спектроскопии. Установлено, что в имплантированных образцах на поверхности находятся только пленка аморфизованного кремния, содержащего имплантированный цинк и кислород, и загрязнения углеродом. Термообработка в диапазоне 400–800°C приводит к образованию на поверхности пластин кроме окисного слоя кремния толщиной около 20 нм еще и НЧ с поперечным размером 20–50 нм и высотой до 10 нм. Эти НЧ состоят из соединений окисленного цинка типа ZnO, ZnSiO3 или Zn2SiO4. После отжига при 1000°C эти НЧ исчезают.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.