ИССЛЕДОВАНИЕ ИСТОЧНИКОВ СЛУЧАЙНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ИЗМЕРИТЕЛЬНОМ СКАНИРУЮЩЕМ ЗОНДОВОМ МИКРОСКОПЕ «НАНОСКАН-3DI»

14 сентября 2018
163
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ГОГОЛИНСКИЙ К.В.Написать письмо автору1, ГУБСКИЙ К.Л.Написать письмо автору2, КУЗНЕЦОВ А.П.Написать письмо автору2, РЕШЕТОВ В.Н.Написать письмо автору1,2 1 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Технологический институт сверхтвердых и
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=19082747

Аннотация

ЖУРНАЛ:


РОССИЙСКИЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ
Издательство: Парк-медиа (Москва)
ISSN: 1992-7223

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:


МИКРОСКОП, ЗОНД, СКАНИРУЮЩИЙ, ПОГРЕШНОСТЬ, ИНТЕРФЕРОМЕТР, ЛАЗЕР, НАНОМЕТР, ДИАПАЗОН, НАНОСКАН

ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:


Работа поддержана Министерством образования и науки Российской Федерации в рамках ГК № 16.552.11.7014.

АННОТАЦИЯ:

Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.