ИССЛЕДОВАНИЕ ИСТОЧНИКОВ СЛУЧАЙНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ В ИЗМЕРИТЕЛЬНОМ СКАНИРУЮЩЕМ ЗОНДОВОМ МИКРОСКОПЕ «НАНОСКАН-3DI»
14 сентября 2018
255
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ГОГОЛИНСКИЙ К.В.Написать письмо автору1, ГУБСКИЙ К.Л.Написать письмо автору2, КУЗНЕЦОВ А.П.Написать письмо автору2, РЕШЕТОВ В.Н.Написать письмо автору1,2 1 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Технологический институт сверхтвердых и |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=19082747 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
РОССИЙСКИЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ
Издательство: Парк-медиа (Москва)
ISSN: 1992-7223
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МИКРОСКОП, ЗОНД, СКАНИРУЮЩИЙ, ПОГРЕШНОСТЬ, ИНТЕРФЕРОМЕТР, ЛАЗЕР, НАНОМЕТР, ДИАПАЗОН, НАНОСКАН
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа поддержана Министерством образования и науки Российской Федерации в рамках ГК № 16.552.11.7014.
АННОТАЦИЯ:
Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне.
ПодробнееРОССИЙСКИЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ
Издательство: Парк-медиа (Москва)
ISSN: 1992-7223
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МИКРОСКОП, ЗОНД, СКАНИРУЮЩИЙ, ПОГРЕШНОСТЬ, ИНТЕРФЕРОМЕТР, ЛАЗЕР, НАНОМЕТР, ДИАПАЗОН, НАНОСКАН
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа поддержана Министерством образования и науки Российской Федерации в рамках ГК № 16.552.11.7014.
АННОТАЦИЯ:
Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.