ПАРАМЕТРИЗАЦИЯ СТРУКТУРЫ ХАОТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ ПО ДАННЫМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
14 сентября 2018
216
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | ТИМАШЕВ С.Ф.1,2, ЛАКЕЕВ С.Г.1, МИСУРКИН П.И.3, ПОЛЯКОВ Ю.С.4, ТИМАШЕВ П.С.2, ТОМАШПОЛЬСКИЙ Ю.Я.1, САДОВСКАЯ Н.В.1, ТЕРЕНЬТЬЕВ Г.И.5, МЕДВЕДЕВСКИХ С.В.5, СОЛОВЬЕВА А.Б.3, КАРГИН Н.И.6, ВОРОНЦОВ П.С.1, РЫНДЯ С.М.1, ТИМОФЕЕВА В.А.3 1 Научно-исследовательски |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=18888957 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ЗАВОДСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ. ДИАГНОСТИКА МАТЕРИАЛОВ
Издательство: Издательство "Тест-зл" (Москва)
ISSN: 1028-6861
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ХАОТИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ, CHAOTIC SURFACES, ПАРАМЕТРЫ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ, SURFACES STRUCTURE PARAMETERS, РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТЕЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, ATOMIC FORCE MICROSCOPY, ФЛИККЕР-ШУМОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, FLICKER-NOISE SPECTROSCOPY, SURFACE RELIEF IN A NANOMETER RANGE
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки РФ (государственный контракт № 01.648.12.3020) и Государственной корпорацией по атомной энергии «Росатом» (государственный контракт № Н.4б.45.90.11.1242). Работа выполнена с применением оборудования ЦКП «Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников» НИЯУ МИФИ, ГК № 16.552.11.7005.
АННОТАЦИЯ:
Показаны пути решения проблем, связанных с установлением единообразия в оценке параметров рельефа хаотических поверхностей разнообразных материалов (трущихся и адгезионных контактов, антикоррозионных покрытий, нанесенных катализаторов), функциональные свойства которых зависят от особенностей структуры поверхности в нанометровом диапазоне, исследуемой методом атомно-силовой микроскопии (АСМ). Феноменологическую основу анализа АСМ изображений для введения параметризации рельефа хаотических поверхностей составляет фликкер-шумовая спектроскопия с ее возможностями разработки процедур и алгоритмов, пригодных для оценки параметров рельефа хаотических поверхностей материалов в различных диапазонах пространственных частот и установления метрологических характеристик метода. На этой основе были созданы стандартные образцы структуры поверхности с различными наборами локальных 3D параметров в нанометровом диапазоне, представляющие собой кремниевые пластины с нанесенными слоями платины. Разработан пакет компьютерных программ в среде MATLAB фирмы MathWorks для обработки оцифрованных изображений поверхности с использованием алгоритмов вычисления локальных 3D параметров поверхности материалов в нанометровом диапазоне.
ПодробнееЗАВОДСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ. ДИАГНОСТИКА МАТЕРИАЛОВ
Издательство: Издательство "Тест-зл" (Москва)
ISSN: 1028-6861
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ХАОТИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ, CHAOTIC SURFACES, ПАРАМЕТРЫ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ, SURFACES STRUCTURE PARAMETERS, РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТЕЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, ATOMIC FORCE MICROSCOPY, ФЛИККЕР-ШУМОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, FLICKER-NOISE SPECTROSCOPY, SURFACE RELIEF IN A NANOMETER RANGE
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки РФ (государственный контракт № 01.648.12.3020) и Государственной корпорацией по атомной энергии «Росатом» (государственный контракт № Н.4б.45.90.11.1242). Работа выполнена с применением оборудования ЦКП «Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников» НИЯУ МИФИ, ГК № 16.552.11.7005.
АННОТАЦИЯ:
Показаны пути решения проблем, связанных с установлением единообразия в оценке параметров рельефа хаотических поверхностей разнообразных материалов (трущихся и адгезионных контактов, антикоррозионных покрытий, нанесенных катализаторов), функциональные свойства которых зависят от особенностей структуры поверхности в нанометровом диапазоне, исследуемой методом атомно-силовой микроскопии (АСМ). Феноменологическую основу анализа АСМ изображений для введения параметризации рельефа хаотических поверхностей составляет фликкер-шумовая спектроскопия с ее возможностями разработки процедур и алгоритмов, пригодных для оценки параметров рельефа хаотических поверхностей материалов в различных диапазонах пространственных частот и установления метрологических характеристик метода. На этой основе были созданы стандартные образцы структуры поверхности с различными наборами локальных 3D параметров в нанометровом диапазоне, представляющие собой кремниевые пластины с нанесенными слоями платины. Разработан пакет компьютерных программ в среде MATLAB фирмы MathWorks для обработки оцифрованных изображений поверхности с использованием алгоритмов вычисления локальных 3D параметров поверхности материалов в нанометровом диапазоне.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.