ПАРАМЕТРИЗАЦИЯ СТРУКТУРЫ ХАОТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ ПО ДАННЫМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

14 сентября 2018
216
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ТИМАШЕВ С.Ф.1,2, ЛАКЕЕВ С.Г.1, МИСУРКИН П.И.3, ПОЛЯКОВ Ю.С.4, ТИМАШЕВ П.С.2, ТОМАШПОЛЬСКИЙ Ю.Я.1, САДОВСКАЯ Н.В.1, ТЕРЕНЬТЬЕВ Г.И.5, МЕДВЕДЕВСКИХ С.В.5, СОЛОВЬЕВА А.Б.3, КАРГИН Н.И.6, ВОРОНЦОВ П.С.1, РЫНДЯ С.М.1, ТИМОФЕЕВА В.А.3 1 Научно-исследовательски
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=18888957

Аннотация

ЖУРНАЛ:


ЗАВОДСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ. ДИАГНОСТИКА МАТЕРИАЛОВ
Издательство: Издательство "Тест-зл" (Москва)
ISSN: 1028-6861

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:


ХАОТИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ, CHAOTIC SURFACES, ПАРАМЕТРЫ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ, SURFACES STRUCTURE PARAMETERS, РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТЕЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, ATOMIC FORCE MICROSCOPY, ФЛИККЕР-ШУМОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, FLICKER-NOISE SPECTROSCOPY, SURFACE RELIEF IN A NANOMETER RANGE

ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:


Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки РФ (государственный контракт № 01.648.12.3020) и Государственной корпорацией по атомной энергии «Росатом» (государственный контракт № Н.4б.45.90.11.1242). Работа выполнена с применением оборудования ЦКП «Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников» НИЯУ МИФИ, ГК № 16.552.11.7005.

АННОТАЦИЯ:

Показаны пути решения проблем, связанных с установлением единообразия в оценке параметров рельефа хаотических поверхностей разнообразных материалов (трущихся и адгезионных контактов, антикоррозионных покрытий, нанесенных катализаторов), функциональные свойства которых зависят от особенностей структуры поверхности в нанометровом диапазоне, исследуемой методом атомно-силовой микроскопии (АСМ). Феноменологическую основу анализа АСМ изображений для введения параметризации рельефа хаотических поверхностей составляет фликкер-шумовая спектроскопия с ее возможностями разработки процедур и алгоритмов, пригодных для оценки параметров рельефа хаотических поверхностей материалов в различных диапазонах пространственных частот и установления метрологических характеристик метода. На этой основе были созданы стандартные образцы структуры поверхности с различными наборами локальных 3D параметров в нанометровом диапазоне, представляющие собой кремниевые пластины с нанесенными слоями платины. Разработан пакет компьютерных программ в среде MATLAB фирмы MathWorks для обработки оцифрованных изображений поверхности с использованием алгоритмов вычисления локальных 3D параметров поверхности материалов в нанометровом диапазоне.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.