СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛОСКОЙ ПОДЛОЖКИ ПОТОКОМ ИОНОВ

14 сентября 2018
135
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации КУДРЯШОВ Н.А.1, СКАЧКОВ М.В.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21136668

Аннотация

ЖУРНАЛ:


ВЕСТНИК НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЯДЕРНОГО УНИВЕРСИТЕТА МИФИ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2304-487X

АННОТАЦИЯ:

Проводится численный анализ образования периодических структур при распылении поверхности плоской подложки потоком ионов. Основу математической модели ионного распыления подложки составляет нелинейное эволюционное уравнение, в котором зависимость скорости эрозии от потока ионов моделируется методом Монте-Карло. Такой подход связан с большими вычислительными затратами, но позволяет исследовать влияние параметров ионного потока на особенности формирования структур на поверхности подложки. Установлено, что топография поверхности существенно зависит от степени равномерности распределения ионов в потоке.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.