СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛОСКОЙ ПОДЛОЖКИ ПОТОКОМ ИОНОВ

ЖУРНАЛ:


ВЕСТНИК НАЦИОНАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ЯДЕРНОГО УНИВЕРСИТЕТА МИФИ
Издательство: МАИК "Наука/Интерпериодика" (Москва)
ISSN: 2304-487X

АННОТАЦИЯ:

Проводится численный анализ образования периодических структур при распылении поверхности плоской подложки потоком ионов. Основу математической модели ионного распыления подложки составляет нелинейное эволюционное уравнение, в котором зависимость скорости эрозии от потока ионов моделируется методом Монте-Карло. Такой подход связан с большими вычислительными затратами, но позволяет исследовать влияние параметров ионного потока на особенности формирования структур на поверхности подложки. Установлено, что топография поверхности существенно зависит от степени равномерности распределения ионов в потоке.