| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | СКОРОБОГАТОВ П.К. |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21148564 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0544-1269
АННОТАЦИЯ:
Приведены результаты обзора многочисленных исследований в области современной нанооптики, которые показывают, что существуют различные механизмы проникновения энергии лазерного излучения вглубь субволновых апертур. Они показывают, что лазерные имитационные методы моделирования объемных ионизационных эффектов могут использоваться вплоть до нанометровых уровней технологии микросхем с обязательной калибровкой дозиметрии.
ПодробнееМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0544-1269
АННОТАЦИЯ:
Приведены результаты обзора многочисленных исследований в области современной нанооптики, которые показывают, что существуют различные механизмы проникновения энергии лазерного излучения вглубь субволновых апертур. Они показывают, что лазерные имитационные методы моделирования объемных ионизационных эффектов могут использоваться вплоть до нанометровых уровней технологии микросхем с обязательной калибровкой дозиметрии.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.