ВЫБОР ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ ИОНИЗАЦИОННЫХ ЭФФЕКТОВ В КРЕМНИЕВЫХ МИКРОСХЕМАХ ОБЪЕМНОЙ ТЕХНОЛОГИИ

14 сентября 2018
141
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации НИКИФОРОВ А.Ю.1, СКОРОБОГАТОВ П.К.1, ЕГОРОВ А.Н.1, ГРОМОВ Д.В.
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21148565

Аннотация

ЖУРНАЛ:


МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0544-1269

АННОТАЦИЯ:

Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения (ЛИ) для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. Показано, что оптимальный диапазон энергий ЛИ для моделирования объемных ионизационных эффектов в КМОП-микросхемах, выполненных по объемной технологии, лежит в пределах от 1.08 до 0.97 мкм.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.