| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ИСАЕВ Н.В.1, КЛЫКОВ И.Л.1, ПЕСКОВ В.В.1, ШУСТИН Е.Г.1, ВИЗГАЛОВ И.В.2, КУРНАЕВ В.А.2 1 Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН Россия, 141190, Фрязино Московской обл., пл. Введенского, 1 2 Национальный исследовате |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21092667 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0032-8162
АННОТАЦИЯ:
Разработана опытно-технологическая установка, реализующая новый тип плазмохимического реактора на базе пучково-плазменного разряда. Описаны особенности конструкции установки. Отдельно описана разработка одной из наиболее важных частей реактора инжектора электронов. Проведены испытания и измерены основные характеристики разработанной установки. Представлены технологические особенности обработки (травление, напыление) непроводящих структур.
ПодробнееПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0032-8162
АННОТАЦИЯ:
Разработана опытно-технологическая установка, реализующая новый тип плазмохимического реактора на базе пучково-плазменного разряда. Описаны особенности конструкции установки. Отдельно описана разработка одной из наиболее важных частей реактора инжектора электронов. Проведены испытания и измерены основные характеристики разработанной установки. Представлены технологические особенности обработки (травление, напыление) непроводящих структур.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.