ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР С ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫМ РАЗРЯДОМ

14 сентября 2018
165
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации ИСАЕВ Н.В.1, КЛЫКОВ И.Л.1, ПЕСКОВ В.В.1, ШУСТИН Е.Г.1, ВИЗГАЛОВ И.В.2, КУРНАЕВ В.А.2 1 Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН Россия, 141190, Фрязино Московской обл., пл. Введенского, 1 2 Национальный исследовате
Ссылка на публикацию в интернете elibrary.ru/item.asp?id=21092667

Аннотация

ЖУРНАЛ:


ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0032-8162

АННОТАЦИЯ:

Разработана опытно-технологическая установка, реализующая новый тип плазмохимического реактора на базе пучково-плазменного разряда. Описаны особенности конструкции установки. Отдельно описана разработка одной из наиболее важных частей реактора – инжектора электронов. Проведены испытания и измерены основные характеристики разработанной установки. Представлены технологические особенности обработки (травление, напыление) непроводящих структур.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.